クリーンルーム

エアシャワー室
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エアシャワー室


エアー:3方向同時噴射

エアー速度:秒速25m以上(要確認)

吸取方法:底面吸取り及び入り口粘着シート

フィルター性能:比色法90%以上

クリーンルーム
touch
クリーンルーム


クリーンレベル:クラス100

敷地面積161㎡

スクラバー装置
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主な設備


ドラフトチャンバー

枚葉処理装置

各種処理槽

スピンドライヤー

排ガススクラバー

マイクロスコープ
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マイクロスコープ


製造会社:キーエンス社

名称:形状測定レーザーマイクロスコープ

型式:VK-X100

対応ウェハ:300㎜ウェハ対応

純水設備
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純水設備


純水レベル:比抵抗値18MΩ

パーティクル:0.1μm以上1ヶ/ml

供給水量:1,200L/h

無塵衣
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無塵衣


メーカー:アズワン社製

推奨クラス:クラス100

貸出:各種サイズ有り
(ご来社前にお訪ね下さい。)

利用毎に白洋舎にてクリーニング




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