製品情報

全協化成工業では全自動ウェハ洗浄装置を始めとし、ご仕様にあわせ自動・半自動、乾燥機付き・乾燥機無し等多種多様な製品を設計・制作・販売しております。
下記は製造実績がある商品のほんの一例となります。
エッチング 石英管洗浄 ベルジャー洗浄 窒化膜エッチング
レジスト剥離 現像装置 キャリア洗浄 BOX洗浄
マスク洗浄 プレート洗浄 冶具洗浄 アニール洗浄
プレアニール洗浄
各種付帯装置 保管装置 移送装置 検査装置
建材用品 道路用品 土木産業用品 理化学
医療機器用途品 パネル板 標示板 目盛り板
銘板 看板
ご興味・ご不明な点がございましたら下記よりお気軽にお問い合わせ下さい。

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半導体関連装置

ウェハ自動洗浄装置

バッチ式洗浄装置
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バッチ式洗浄装置

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バッチ式洗浄装置

製品名称バッチ式洗浄装置

対応洗浄方式 有機洗浄 エッチング レジスト除去
ウェハ搬送方式 カセットタイプ カセットレスタイプ ドラムタイプ
搬送カセット単位 最小1カセット 最大5カセット
対応口径 φ150mm φ200mm φ300mm
液流※カセットレスタイプのみ 特殊槽の形状+整流板による理想的なラミナフローを実現。
気流※カセットレスタイプのみ 機構部に特殊局所排気を設け、装置内のクリーン化を徹底。
乾燥※カセットレスタイプのみ ベーパー式 スピン式 マランゴニ式 温水引き上げ式
他、御仕様に合わせてお申し付け下さい。
その他 FA−AGV(自動搬送システム)対応可能 SECS/GEM通信対応可能

バッチ式洗浄装置とはウェハの洗浄をカセット単位で行うもので、弊社の装置は1カセット搬送タイプから5カセット搬送タイプまで、シリコンウェハφ150mm、φ200mm、φ300mmサイズに対応した洗浄装置です。
洗浄の方式は標準でRCA洗浄、HF洗浄、そのほかアルカリ液による洗浄などもご用意しております。
またウェハ搬送方式には「カセットタイプ」・「カセットレスタイプ」・「ドラムタイプ」がございます。
カセットレスタイプでは、特殊エッジハンドリングによる搬送のため、ウェハへのキズ・ダメージがありません。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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枚葉式洗浄装置
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枚葉式洗浄装置

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枚葉式洗浄装置

製品名称枚葉式洗浄装置

対応洗浄方式 RCA洗浄 レジスト除去 各種エッチング 各種物理洗浄
対応口径 φ100mm~φ300mm
ハンドリング バキュームチャック エッジチャック
主な機能 薬液処理 荷重可変型ペンブラシ機構 二流体洗浄 超音波洗浄

半導体ウェハの製造過程で欠陥の原因となるゴミや汚れを薬液、純水にて洗浄する装置です。
枚葉化により面内処理の均一性及び剥離性能を向上させ、従来のバッチ式で不可能な多品種や少量生産等の工程変動に対応が可能です。
使用薬液・純水等の低減により、環境面やコストメリットに大きく貢献します
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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自動石英管洗浄装置

石英管洗浄機(縦型/横型)
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石英管洗浄機(縦型/横型)

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石英管洗浄装置(縦型/横型)-1石英管洗浄装置(縦型/横型)-2

製品名称石英管洗浄装置(縦型/横型)

横型・縦型にも対応可能で、横型は1槽~4槽式等御仕様に合わせてお申し付け下さい。
また、石英ロッド処理タイプ(重量物)にも柔軟に対応できます。
拡散処理後の石英チューブをフックにのせ、全自動でエッチング、純水洗浄を行います。
フックは上下・左右動作を行い、液中における石英管の浮き防止と上昇時の液抜きを致します。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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ベルジャー洗浄機
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ベルジャー洗浄機

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ベルジャー洗浄機

製品名称ベルジャー洗浄機

ベルジャー型石英部品の内面、外面を噴射ノズルを使用し、薬液でエッチング洗浄後、純水による洗浄を行う装置です。
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手動洗浄機

クリーンドラフト
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クリーンドラフト

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クリーンドラフト

製品名称クリーンドラフト

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手動・半自動 液交換タイプ
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手動・半自動 液交換タイプ

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手動・半自動液交換タイプ

製品名称手動・半自動液交換タイプ

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半自動タイプ
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半自動タイプ

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半自動タイプ

製品名称半自動タイプ

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スピンドライヤー付クリーンベンチ
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スピンドライヤー付
クリーンベンチ

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スピンドライヤー付クリーンベンチ

製品名称スピンドライヤー付クリーンベンチ

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太陽電池関連装置

テクスチャー層エッチング装置

テクスチャー層エッチング装置
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テクスチャー層エッチング装置

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テクスチャー層エッチング装置

製品名称テクスチャー層エッチング装置

対応口径 □125mm×125mm □150mm×150mm
※2~5キャリア/1パッチ
適用機種 テクスチャー形成エッチング ガラス除去エッチング
※セルの貼り付き防止対策付。

シリコンウェハ表面にテクスチャー構造を形成したり、ドープ時のガラスを除去する為アルカリ処理又は酸処理を行った後、リンス・乾燥まで処理します。
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付帯設備

薬液供給システム

薬液供給システム
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薬液供給システム

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薬液供給システム-1薬液供給システム-2

製品名称薬液供給システム

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機能水供給システム

>酸還王-typeC<
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酸還王-typeC

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酸還王-typeC

製品名称酸還王-typeC

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。
本製品はCMP工程後洗浄などの比較的小流量の洗浄機に還元性機能水を供給する装置です。
オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。
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酸還王-typeH-C
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酸還王-typeH-C

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酸還王-typeH-C

製品名称酸還王-typeH-C

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。
本製品は還元性機能水の製造に特化しコストパフォーマンスに優れた装置です。
オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。
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酸還王-typeH-CD
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酸還王-typeH-CD

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酸還王-typeH-CD

製品名称酸還王-typeH-CD

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。
オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。
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スピンドライヤー

スピンドライヤー
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スピンドライヤー

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スピンドライヤー

製品名称スピンドライヤー

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卓上スピンナー
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卓上スピンナー

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卓上スピンナー

製品名称卓上スピンナー

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保管庫

PVC保管庫
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PVC保管庫

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PVC保管庫

製品名称PVC保管庫

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SUS保管庫
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SUS保管庫

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SUS保管庫

製品名称SUS保管庫

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石英保管台車
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石英保管台車

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石英保管台車

製品名称石英保管台車

ワンタッチカプラにて容易にN2パージができ、クリーンな保管状態のまま搬送できます。
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特許製品

NP-STOCKER
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NP-STOCKER

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NP-STOCKER

製品名称NP-STOCKER

仕様 6インチ
本体サイズ 1,720mm(W)×480mm(D)×1,940mm(H)※4列4段
ユーティリティ 電源100V 単相15A N2圧力0.1Mpa 流量5L/min
登録番号 特許第4413376号
登録日 2009/11/27
発明の名称 ウェハー保管装置

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NP-BOX
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NP-BOX

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NP-BOX

製品名称NP-BOX

本体サイズ 262mm(W)×163mm(D)×222mm(H)
特徴 1.自然酸化膜の抑制(クリーンベンチの1/2)
2.低アウトガス発生
3.高ガスバリアー性
4.セパレートタイプで移動が容易
5.低価格・短納期


登録番号 特許第4413376号
登録日 2009/11/27
発明の名称 ウェハー保管装置

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周辺機器

ウェハ整列器

手動オリフラ下、上面整列器-MORN-UT型
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手動オリフラ下、上面整列器

MORN-UT型

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手動オリフラ下、上面整列器-MORN-UT型

製品名称手動オリフラ下-上面整列器-MORN-UT型

手動でウェハのOFを整列します。
ハンドルでウェハを回転させてOFを下面整列し、レバーを押しながらハンドルを回転すると、上面へ移送します。
全自動・半自動・手動のいずれかを選択可能で、ご仕様に於かれましてもあらゆるニーズに対応致しております。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
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手動ノッチ下、上面整列器-MNN-UT型、φ150/200/300用
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手動ノッチ下、上面整列器
MNN-UT型
φ150/200/300用

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手動ノッチ下、上面整列器-MNN-UT型、φ150/200/300用

製品名称手動ノッチ-上面整列器-MNN-UT型-φ150/200/300用

手動でウェハのノッチを整列します。
ウェハφ150/φ200/φ300に対応しています。
ハンドルでウェハを回転させ、ノッチを下面整列します。
レバーを押し、ハンドルを回転すると上面へ移送します。
全自動・半自動・手動のいずれかを選択可能で、ご仕様に於かれましてもあらゆるニーズに対応致しております。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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ウェハ移し替え器

手動ウェハ水平移し替え器-MTL-8
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手動ウェハ水平移し替え器
MTL-8

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手動ウェハ水平移し替え器-MTL-8

製品名称手動ウェハ水平移し替え器-MTL-8

キャリアを移動させてウェハを移し替えるタイプです。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
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手動ウェハ水平移し替え器-MSTL-8
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手動ウェハ水平移し替え器
MSTL-8

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手動ウェハ水平移し替え器-MSTL-8

製品名称手動ウェハ水平移し替え器-MSTL-8

押出板を移動させて移し替えるタイプです。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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ピッチチェンジャー
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ピッチチェンジャー

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ピッチチェンジャー

製品名称ピッチチェンジャー

ピッチの異なるカセットへランダムに移し替えることができます。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
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ウェハ検査器

手動傾斜式外周検査器-MRT-UJ型
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手動傾斜式外周検査器
MRT-UJ型

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手動傾斜式外周検査器-MRT-UJ型

製品名称手動傾斜式外周検査器-MRT-UJ型

ウェハの外周を検査できます。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
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手動回転式ウェハ面検査器-MK型(蛍光灯下用)
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手動回転式ウェハ面検査器
MK型(蛍光灯下用)

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手動回転式ウェハ面検査器-MK型(蛍光灯下用)

製品名称手動回転式ウェハ面検査器-MK型(蛍光灯下用)

ウェハ面を一枚ずつ検査できます。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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新手動ピッカー55-MPKN-U5型
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新手動ピッカー55
MPKN-U5型

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新手動ピッカー55-MPKN-U5型

製品名称新手動ピッカー55-MPKN-U5型

ウェハを5枚ずつ5回のピッチで全数アップします。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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キャリアハンドラー

キャリアハンドラー-MCH-A型
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キャリアハンドラー
MCH-A型

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キャリアハンドラー-MCH-A型

製品名称キャリアハンドラー-MCH-A型

キャリアの側面からホールドするタイプです。
非帯電性塩ビ板を使用しています。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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キャリアハンドラー-MCH-B型
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キャリアハンドラー
MCH-B型

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キャリアハンドラー-MCH-B型

製品名称キャリアハンドラー-MCH-B型

キャリアの上面からホールドするタイプです。
非帯電性塩ビ板を使用しています。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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キャリアハンドラー-MCH-F型
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キャリアハンドラー
MCH-F型

×
キャリアハンドラー-MCH-F型

製品名称キャリアハンドラー-MCH-F型

PEを主材としたフォーク式キャリアハンドラーです。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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キャリアハンドラー-MCH-ST型
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キャリアハンドラー
MCH-ST型

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キャリアハンドラー-MCH-ST型

製品名称キャリアハンドラー-MCH-ST型

POMを主材としたクランチ式キャリアハンドラーです。
お客様のご使用になるキャリアに合わせて製作致します。
御見積、製作時にご使用になるキャリア及びウェハ(5枚~25枚)を御支給下さい。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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技術情報

新開発技術

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エッチング装置用処理チャンバ

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エッチング装置用処理チャンバ

製品名称エッチング装置用処理チャンバ

新規開発をしたエッチング装置用の処理チャンバです。
MEMSの作成工程でウェハ端面を保護しながら表面のみエッチング加工することが可能です。
他の用途でも使用可能な技術です。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。


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