製品情報

製品名称more_vert
エッチング装置用処理チャンバ
製品名称close
エッチング装置用処理チャンバ

エッチング装置用の処理チャンバです。 MEMSの作成工程でウェハ端面を保護しながら表面のみエッチング加工することが可能です。 また、他の用途でも使用可能です。