新規開発をしたエッチング装置用の処理チャンバです。
MEMSの作成工程でウェハ表面を選択的にエッチングして特殊な形状に加工することが可能です。
他の用途でも使用可能な技術です。
詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。