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バッチ式洗浄装置

ウェハの洗浄をカセット単位で行うもので、弊社の装置は1カセット搬送タイプから5カセット搬送タイプまで、シリコンウェハφ１５０mm、φ２００mm、φ３００mmサイズに対応した洗浄装置です。 洗浄の方式は標準でRCA洗浄、HF洗浄、そのほかアルカリ液による洗浄などもご用意しております。 またウェハ搬送方式には「カセットタイプ」・「カセットレスタイプ」・「ドラムタイプ」がございます。 カセットレスタイプでは、特殊エッジハンドリングによる搬送のため、ウェハへのキズ・ダメージがありません。

対応洗浄方式	有機洗浄/エッチング/レジスト除去
ウェハ搬送方式	カセットタイプ/カセットレスタイプ/ドラムタイプ
搬送カセット単位	最小1カセット～最大5カセット
対応口径	φ150mm/φ200mm/φ300mm
液流 カセットレスタイプのみ	特殊槽の形状＋整流板による理想的なラミナフローを実現。
気流 カセットレスタイプのみ	機構部に特殊局所排気を設け、装置内のクリーン化を徹底。
乾燥 カセットレスタイプのみ	ベーパー式/スピン式/温水引き上げ式
その他	FA−AGV（自動搬送システム）対応可能 SECS・GEM通信対応可能

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枚葉式洗浄装置

半導体ウェハの製造過程で欠陥の原因となるゴミや汚れを薬液、純水にて洗浄する装置です。枚葉化により面内処理の均一性及び剥離性能を向上させ、従来のバッチ式で不可能な多品種や少量生産等の工程変動に対応が可能です。

対応洗浄方式	RCA洗浄/レジスト除去/各種エッチング/各種物理洗浄
対応口径	φ１00mm～φ300mm
ハンドリング	バキュームチャック/エッジチャック
主な機能	薬液処理/荷重可変型ペンブラシ機構/二流体洗浄/超音波洗浄
その他	各種機構は仕様にあわせ変更可能

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石英管洗浄装置

横型・縦型にも対応可能で、横型は1槽～4槽式等御仕様に合わせてお申し付け下さい。
また、石英ロッド処理タイプ（重量物）にも柔軟に対応できます。
拡散処理後の石英チューブをフックにのせ、全自動でエッチング、純水洗浄を行います。
フックは上下・左右動作を行い、液中における石英管の浮き防止と上昇時の液抜きを致します。

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ベルジャー洗浄機

ベルジャー型石英部品の内面、外面を噴射ノズルを使用し、薬液でエッチング洗浄後、純水による洗浄を行う装置です。

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クリーンドラフト

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

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手動・半自動 液交換タイプ

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

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半自動タイプ

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

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スピンドライヤー付クリーンベンチ

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。