製品情報

薬液供給システム

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薬液供給システム
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薬液供給システム

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

機能水供給システム

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酸還王-typeC
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酸還王-typeC

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。本製品はCMP工程後洗浄などの比較的小流量の洗浄機に還元性機能水を供給する装置です。※オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。

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酸還王-typeH-C
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酸還王-typeH-C

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。本製品は還元性機能水の製造に特化しコストパフォーマンスに優れた装置です。※オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。

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酸還王-typeH-CD
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酸還王-typeH-CD

機能水を使用しての処理のため、薬液を使用しての洗浄に比べ、地球環境に優しく排水処理にかかるコストを大幅に削減することができます。※オルガノ株式会社様からの依頼による受託生産製品となります。

スピンドライヤー

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スピンドライヤー
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スピンドライヤー

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

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卓上スピンナー
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卓上スピンナー

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保管庫

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PVC保管庫
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PVC保管庫

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SUS保管庫
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SUS保管庫

詳細につきましては弊社S・E部までお問い合わせください。

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石英保管台車
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石英保管台車

ワンタッチカプラにて容易にN2パージができ、クリーンな保管状態のまま搬送できます。

特許製品

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NP-STOCKER
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NP-STOCKER

仕様 6インチ
本体サイズ 1,720mm(W)×480mm(D)×1,940mm(H)※4列4段
ユーティリティ 電源100V/単相15A/N2圧力0.1Mpa/流量5L(min)
登録番号 特許第4413376号
登録日 2009/11/27
発明の名称 ウェハー保管装置
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NP-BOX
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NP-BOX

本体サイズ 262mm(W)×163mm(D)×222mm(H)
特徴 1.自然酸化膜の抑制(クリーンベンチの1/2)
2.低アウトガス発生
3.高ガスバリアー性
4.セパレートタイプで移動が容易
5.低価格・短納期
6.静電気対策
登録番号 特許第4413376号
登録番号 特許第4413376号
登録日 2009/11/27
発明の名称 ウェハー保管装置